《微纳电子技术》(ISSN1671-4776、CN13-1314/TN、CODENWJEIAB)是国家新闻出版局批准公开发行、中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。主要栏目:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备。 ...
 
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WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊•1964年创刊

55卷第3期(总第490期)

2018315日出版

刊名题词  白春礼

技术论坛

一种阵列波导光栅的芯片级封装结构

赵东世,王加钦,崔晓彬,等(149)

器件与技术

硅基级联光栅石墨烯吸波器设计与分析

王 睿,桑 田,周健宇,等(154)

6 500 V 15 A 4H-SiC JBS二极管的研制

薛爱杰,黄润华,柏 松,等(161)

材料与结构

复合纳米聚合物摩擦发电效能的研究

田竹梅,何 剑,温 涛,等(166)

MEMS与传感器

基于磁梯度场超高分辨的高灵敏加速度传感方法

王 磊,郭 浩,唐 军,等(172)

硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构的研制

寇志伟,刘 俊,曹慧亮,等(178)

BiFeO3纳米纤维压力传感器的研制

刘 扬,谭晓兰,刘园园,等(183)

无线无源气体传感器的制备和测试

郭晓威,周天浩,谭秋林,等(189)

加工、测量与设备

基于SERS技术的微量食品添加剂高灵敏检测方法

夏美晶,郭 浩,唐 军,等(194)

不同络合剂对铜布线CMP抛光液性能的影响

刘国瑞,刘玉岭,栾晓东,等(201)

纳米增材制造

周伟民,闵国全(206)

基于湿法与氧自由基活化工艺的低温硅-硅键合技术

张林超,李玉玲,尚瑛琦,等(219)

第十四届固态和集成电路技术国际会议(第一次征文通知)(224)

毕克允副院长题词
      
许居衍院士题词
      
陈良惠院士题词
      
王占国院士题词
      
王阳元院士题词
      
李志坚院士题词
      
王守武院士题词
      
白春礼院士刊名题词
      
创刊号
      
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