WEINADIANZI JISHU
(原半导体情报)
月刊•1964年创刊
第49卷第1期(总第416期)
2012年1月15日出版
刊名题词 白春礼
技术论坛
纳电子学的发展 赵正平(1)
器件与技术
基于可见光响应的纳米硒半导体器件
唐 平,廖 雷,蒋坤朋,等(7)
MWT和EWT背接触太阳电池结构及其技术发展
林 阳,高 云,贾 锐,等(12)
材料与结构
反应条件对水溶性CdSe量子点光学性能的影响
蒋国辉,安 萍,徐雪青,等(22)
磁控溅射结合快速热处理制备相变氧化钒薄膜
吕志军,胡 明,陈 涛,等(27)
ULSI Cu互连CoSiN扩散阻挡薄膜的研究
张在玉,陈秀华,韩永强(33)
MEMS与传感器
提高RF MEMS开关速度的电压控制方法
邓 成,鲍景富,凌 源,等(39)
碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究
陈海燕,陈长鑫,戴振清,等(45)
MEMS微惯性组合静态误差建模与补偿
李长森,郭海雷,谷 岩,等(50)
加工、测量与设备
集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备
伍择希,张卫平,陈俊杰,等(56)
应用于MEMS封装的TSV工艺研究
王宇哲,汪学方,徐明海,等(62)
微纳电子技术》征稿(6)
《微纳电子技术》编辑部网站已开通(55)
全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻
分技术委员会(筹)全体大会暨国家标准审定会
圆满闭幕(68)